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苏州敏芯申请基于MEMS工艺的六维力传感器专利提高传感器性能

发布时间:2025-01-17点击次数:

  金融界2024年12月4日消息,国家知识产权局信息显示,苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“一种基于MEMS工艺的六维力传感器”的专利,公开号CN 119063897 A,申请日期为2024年11月。

  专利摘要显示,本申请公开了一种基于MEMS工艺的六维力传感器,包括力传感器芯片,所述力传感器芯片包括位于所述力传感器芯片中心位置的质量块,以及连接所述质量块与芯片外框的弹性梁;所述弹性梁上设置有力敏电阻;底部结构,设置在垂直于所述力传感器芯片表面的方向,用于容纳所述力传感器芯片;顶部结构,位于所述力传感器芯片一侧,kaiyun中国官方平台通过中间结构连接所述力传感器芯片。

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